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真空机械手PHOENIX-S25

关键字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

描述:直驱电机结构,全新的IO模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

简介

Introduction

直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。


参数

Parameter

参数:

本体重量

50KG

适用晶圆尺寸

300mm/200mm/150mm/100mm

负载

500g

电源输入

AC电压:AC208V   AC频率:50HZ/60HZ

电源范围 电压波动范围

单相交流208V +10%-15%

节拍

R axis3Home to Extend703mm

θ axis2.5s(180°)(根据实际摩擦力)

Z   axis1.8s90mm

重复定位精度

Z:   ±0.05mm3σ)

T:   ±0.003°(3σ)

R:   ±0.05mm3σ)

漏率

<   1 x 10-9 std. cc/sec He

真空度

5X10-9Torr

适用温度

法兰:<120;本体:<50;手臂:<120

行程

R703mm   Z90mm

洁净度

ISO   CLASS1

MCBF

>11million   cycles

复合运动

支持

PC远程操作软件

支持

通信接口

Ethernet/串口

IO互锁

支持

安全区

支持

碰撞保护

支持