关键字导读： PECVD PVD ETCH MEMS
描述：直驱电机结构，与PHOENIX B系列相比，将控制器集成到机械手本体之内，大大缩减了整体尺寸，IO处理模块进行升级，具有先进的防碰撞保护功能。满足个性化设计，支持用户定制，手臂长度可选，可为客户提供接口及末端定制服务。
Introduction
直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性好，可靠性高。与PINUS B系列相比，将控制器集成到机械手本体之内，大大缩减了整体尺寸，并且缩短了互联线缆长度，可靠性得以提升。IO处理模块，可以根据用户需求配置输入输出数量，有效电平可以切换，用户可以根据需求将输出输入引脚配置成互锁、传感器检测等功能。输入信号支持硬件中断功能，方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。碰撞保护功能可以减少用户误操作导致的各种损失。以示教器作为人机交互媒介，方便调试人员使用。可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸、耐高温耐腐蚀特性等。
Parameter
参数：
本体重量Body Weight | 50KG |
适用晶圆尺寸Wafer Size | 300mm/200mm/150mm/100mm |
负载Payload | 1KG |
电源输入Power Supply | 24 V DC, ±5% |
节拍Bear | 10.5 s(Pick+Rotate180°+Place，与手指材料、传输位置相关) |
动态偏差纠正精度(AWC) | ±0.1mm |
重复定位精度Repeatability | Z: ±0.05mm（3σ） |
T: ±0.006°（3σ） | |
R: ±0.05mm（3σ） | |
漏率Leak rate | < 1 x 10-9 std. cc/sec He |
真空度Base Pressure | 5X10-9Torr |
适用温度 Applicable temperature | 法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃ |
洁净度Clean Class | ISO CLASS1 |
MCBF | >11million cycles |
复合运动 Compound motion | 支持Support |
PC远程操作软件 | 支持Support |
通信接口Communications | Ethernet/串口serial interface |
IO互锁IO interlock | 支持Support |
安全区Safe area | 支持Support |
碰撞保护 Collision protection | 支持Support |
