真空机械手SRBZ820C-SMSX/G
关键字导读： ETCH PVD PECVD MOCVD MEMS
描述：磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选，手指及接口用户可定制的特征，耐高温、耐腐蚀，动态纠偏和碰撞保护功能。
简介
Introduction
采用耐高温手指有隔热设计，可用于放置高温托盘，短时间耐高温300℃以上。指部腕部灵巧的设计理念降低了接触面的表面粗糙度，加大热阻。具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆,减少用户误操作导致的各种损失。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能.带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用。可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸,耐高温耐腐蚀特性等。
参数
Parameter
参数：
型号 | SRBZ820C-SMSC/G | |
密封方式 | 磁流体密封 | |
自由度数 | 2 | |
负载 | 名称 | 托盘 |
直径 | Φ330mm | |
重量 | 1.5kg | |
最大运动范围 | R轴（mm） | 立柱中心至R轴最大伸展处被搬运物体中心距离820 |
θ轴（°） | 360 | |
全行程最小时间 | R轴（s） | 2.5 |
θ轴（s） | 4.8 | |
重复定位精度 | θ轴（°） | ±0.01（3σ） |
R轴（mm） | ±0.1（3σ） | |
重量 | 机械手本体 | 41kg |
控制器 | 15kg | |
耐真空度 (Pa) | ＜5×10-9 Torr | |
漏率 | ＜1×10-9 std.cc/sec He | |
碰撞保护 | 盘片和机械手无损伤 | |
隔热设计 | 指部隔热块 | |
承载温度 | 工艺环境300℃ | |
行程 | 820mm | |
电源范围 电压波动范围 | 单相交流208V +10%，-15% | |
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