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洁净机器人

yl23411永利官网登录洁净自动化系列产品经过10多年的技术沉淀已形成系列化单体产品,同时注重模块化单元及设备平台建设,以成套化和规模化为发展目标,拥有100余人的专业研发团队,在沈阳拥有5000平米的净化间,目前主要应用领域覆盖IC装备、平板显示、光伏、电子等行业,能够为客户提供完整的技术解决方案和交钥匙工程。完全拥有自主知识产权和核心技术,技术水平国内领先达到国际先进水平。
TSS-3000 EFEM
TSS-3000 EFEM

一体化程度高,自动化程度高,安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制,拥有yl23411永利官网登录自主研发的控制器,Aligner,方便在视窗观察的可拆卸单元门,易移动框架,带有隔离的风扇 过滤系统,可拆分的设备结构,从而保证设备洁净、可靠的运行。

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真空机械手 Archer 系列
真空机械手 Archer 系列

直驱电机结构,全新的IO模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

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真空传输平台Diagram 600
真空传输平台Diagram 600

作为半导体制造生产线的必要设备,本平台一般包含在整套半导体制造设备系统之中,是硅片盒(Cassette)到工艺腔(CVD,ALD,PVD等)之间的硅片搬送系统。

真空机械手PHOENIX B系列
真空机械手PHOENIX B系列

直驱电机结构,全新的IO模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

真空机械手PHOENIX-S25系列
真空机械手PHOENIX-S25系列

直驱电机结构,全新的IO模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

真空机械手PHOENIX PLUS B系列
真空机械手PHOENIX PLUS B系列

直驱电机结构,全新的IO模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

Titan1500C
Titan1500C

具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能机器人具有更卓越的动力性能,可满足半导体行业的高精度、高速度、高稳定性使用要求。

SRBZ970C
SRBZ970C

具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能机器人具有更卓越的动力性能,可满足半导体行业的高精度、高速度、高稳定性使用要求。

SRBZ820C
SRBZ820C

具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能机器人具有更卓越的动力性能,可满足半导体行业的高精度、高速度、高稳定性使用要求。

SRBZ820C-G
SRBZ820C-G

具有先进的防碰撞保护功能及动态纠偏功能机器人具有更卓越的动力性能,可满足半导体行业的高精度、高速度、高稳定性、高温工况使用要求。

真空机械手 SM11
真空机械手 SM11

直驱电机结构,全新的IO模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

TSS-4000 EFEM
TSS-4000 EFEM

一体化程度高,自动化程度高,安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制,拥有yl23411永利官网登录自主研发的控制器,Aligner,方便在视窗观察的可拆卸单元门,易移动框架,带有隔离的风扇 过滤系统,可拆分的设备结构,从而保证设备洁净、可靠的运行。

TSS-2000 EFEM
TSS-2000 EFEM

SEMI认证S2、F47
接口可用户定制

LoadPort
LoadPort

LoadPort是yl23411永利官网登录公司自主研发的一种晶圆装载装置,可安装在EFFM上,适用于8寸和12寸晶圆盒的装载,具备准确的mapping功能,可自动识别盒内晶圆各槽状态,如单片、跨片、异常片,通过独创的开关门机构和精确的运动控制,实现了高清洁性能,同时具有良好的稳定性和速度。

SMIF
SMIF

SMIF是一种晶圆装载与检测集成装置,适用于6寸和8寸晶圆盒的自动开关盒,效率高,稳定性好,重复定位精度高,洁净等级为Class1;具有兼容150mm和200mm晶圆的mapping功能,能自动检测盒内各槽晶圆状态,例如单片、跨片;具有开盒时自动识别盒内晶圆尺寸的功能,更加便于使用;具有灵敏的晶圆滑出保护功能,可以自动监测盒内异常状况,有效保护晶圆;具有实时检测的机械手互锁和光栅互锁功能,可以有效保护机械手以及人身安全;具有RFID读取功能。yl23411永利官网登录SMIF为全流程中国大陆自主设计制造,推动了国内半导体产业链的进步,有效的支撑了国内半导体设备的发展。

立式炉Mini STK
立式炉Mini STK

立式炉Mini STK应用于立式炉管设备前端,适用于FOUP的转运 、暂存和开盒。

大气机械手Blade-SD210
大气机械手Blade-SD210

高洁净等级,高速传片,碰撞保护,Mapping,SEMI认证S2,F47,迎合个性化设计手指及接口用户可定制。

大气机械手Blade-S225
大气机械手Blade-S225

高洁净等级,高精度,高速传片,耐腐蚀,碰撞保护,Mapping功能,SEMI认证,提供接口及末端定制

大气机械手Blade-S175-EX
大气机械手Blade-S175-EX

高洁净等级,高精度,高速传片,耐腐蚀,碰撞保护,Mapping功能,SEMI认证,提供接口及末端定制

大气机械手Blade-DD250
大气机械手Blade-DD250

高洁净等级,高精度,高速传片,耐腐蚀,碰撞保护, SEMI认证,提供接口及末端定制

大气机械手Blade-D156
大气机械手Blade-D156

高洁净等级,高速传片,碰撞保护, Mapping,SEMI认证S2,F47

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